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阴极发光是一种光谱分(fèn)析方法,通过电(diàn)子(zǐ)束轰(hōng)击材料(liào)产生发光后,用来(lái)在局部(bù)范围内鉴别材料中(zhōng)的点缺陷和杂质缺陷,应用于微电子,半导体材(cái)料,绝缘体(tǐ),地质学和矿物学等领域。
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